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MDPspot台式单点寿命检测仪--少子寿命

  • 更新时间:  2020-07-31
  • 产品型号:  Freiberg--MDPspot
  • 简单描述
  • 德国Freiberg仪器的MDPspot(MDPspot台式单点寿命检测仪--少子寿命)是一台低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。MDPspot可配电阻率测试选项,常规仅适用于硅,也可用于没有高度调整可能性的晶圆片以及晶锭,不过需对这两个选项之一进行预定义。
详细介绍

►公司简介

 --Freiberg Instruments成立于2005年,源自德国弗莱贝格工业大学。最初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具,用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。
 --2012年整合了Magnettech公司,该公司拥有25年ESR顺磁产品经验;2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。
 --Freiberg Instruments是一家发展迅速,充满活力,专业又具有创新的的分析仪器公司,产品广泛应用于剂量学、医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等领域。

 

 

►产品介绍 

 --德国Freiberg仪器的MDPspot(MDPspot台式单点寿命检测仪--少子寿命)是一台低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。

 --MDPspot(MDPspot台式单点寿命检测仪--少子寿命)可配电阻率测试选项,常规仅适用于硅,也可用于没有高度调整可能性的晶圆片以及晶锭,不过需对这两个选项之一进行预定义。 

 --MDPspot配备结果可视化的标准软件。

 

 

►设备特性

 --无接触和非破坏的电学参数测试;

 --对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的高分辨率;

 --对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项。

 

►产品优势

 --用于不同制备阶段,从成体到最终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置;

 --体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化;

 --适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整;

 

 

技术参数

 


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