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X 射线光电子能谱检测

  • 更新时间:  2021-03-15
  • 产品型号:  
  • 简单描述
  • 1. 该系统通过测量不同元素的芯能级,能够实现高精度的元素和价态分析。
    2. 该系统使用X-射线作为光源,能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据,实现对材料电子结构的完整表征。
    3. 该系统具备微区分析功能,可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析,是目前观测薄膜样品元素和价态分布,进而探索其生长机理的工具之一
    X 射线光电子能谱检测
详细介绍

X 射线光电子能谱检测

 

项目

细则

收费

说明

手套箱进样

空气敏感样品测试

400元/样

/

XPS谱图测试

宽谱和窄谱的扫描

宽谱:280 元/样; 窄谱:140 元/样

每超过30min 按 新样算

XPS成像测试

选区和成像扫描 测试时间≤1h

840元/样

每超过1h 按 1 个新样算

深度剖析

Ar 离子刻蚀加元素窄 扫或成像

每层按 2 个样算 +150 元/次刻蚀费

刻蚀时间 5min/次

 

X 射线光电子能谱检测

 

主要规格及技术指标

1、本底真空度优于5*10-10mbar;

2、单色化AlKαX射线源,光斑尺寸200-900um,大光斑极限分辨率0.43eV;

3、XPS能谱分析尺寸20-900um,平行成像精度1um;

4、双极性半球形分析器,可采集ISS离子散射谱,能量分辨率优于12eV;

5、配备同轴/离轴双电子枪,可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量,能量分辨率0.68eV;

6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀,可用于不同敏感性材料的深度剖析;

7、配有反射电子能量损失谱(REELS),可用于氢元素的定量分析;

8、配有俄歇光电子能谱分析(AES),空间分辨率可达95nm,并能够实现相应的形貌表征功能(SEM)。

 

 主要功能及特色

1. 该系统通过测量不同元素的芯能级,能够实现高精度的元素和价态分析。
2. 该系统使用X-射线作为光源,能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据,实现对材料电子结构的完整表征。
3. 该系统具备微区分析功能,可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析,是目前观测薄膜样品元素和价态分布,进而探索其生长机理的工具之一

 

主要附件配置

1、单色化AlKαX射线源,光子能量1486.6eV;

2、双极性半球形分析器,可采集ISS离子散射谱,用于超薄表面的元素鉴定和同位素鉴定;
3、配备同轴/离轴双电子枪,可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量;
4、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀,可用于不同敏感性材料的深度剖析;
5、配有反射电子能量损失谱(REELS),可用于H元素的分析;
6、配有俄歇光电子能谱分析(AES),空间分辨率可达95nm,并能够实现相应的形貌表征功能(SEM);

7、配有角分辨ARXPS,用于10nm以内各深度的无损XPS分析。


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