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X射线衍射仪-单晶硅定向仪

  • 更新时间:  2020-07-24
  • 产品型号:  Freiberg-Omega/Theta XRD
  • 简单描述
  • 弗莱贝格Omega/Theta X射线衍射仪-单晶硅定向仪能提供自动的晶格定位和样品校准的在线解决方案,我们专注于超高速和准确的Omega扫描方法,可在几秒钟内确定完整的晶体取向。可添加二维(X-Y)或三维扫描,全自动化的摇摆曲线测量,使得XRD单晶定向仪成为单晶制造商质量控制环节中一个重要组成部分。
详细介绍

弗莱贝格Omega/Theta X射线衍射仪-单晶硅定向仪能提供自动的晶格定位和样品校准的在线解决方案,我们专注于超高速和准确的 Omega扫描方法,可在几秒钟内确定完整的晶体取向。可添加二维(X-Y)或三维扫描,全自动化的摇摆曲线测量,使得XRD单晶定向仪成为单晶制造商质量控制环节中一个重要组成部分。

 

►应用范围

作为快速、简单、可靠的X射线单晶定向仪,弗莱贝格Omega/Theta Omega/Theta X射线衍射仪-单晶硅定向仪被广泛应用于工业生产的质量控制、材料研发等领域,主要用于超高速晶体定向和摇摆曲线的测量。

 

►应用技术

  • 可用于生产的立式XRD
  • 转移技术:可高效率进行多个铸锭同时定向(堆叠)
  • 同时测定(Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、蓝宝石、涡轮叶片等200多种晶体材料)几乎所有晶体方向取向。
  • 快速测量晶体取向,测量时间仅需5秒,精度:0.003°
  • 自动晶片分类和处理
  • 摇摆曲线测量和3Dmapping绘图 、晶圆表面翘曲度偏差检测
  • 整块晶圆和涡轮叶片晶体取向mapping 
  • 设备操作简单、快捷、方便,适用于各研究机构和全自动化生产线

 

►应用实例

案例1:

蓝宝石取向 mapping、摇摆曲线测量:窄反射峰=表面质量好

 

案例2:

SiC 取向 mapping、摇摆曲线测量:宽反射峰=晶体表面局部干扰

 

案例3:

碳化硅晶圆检测案例——晶体取向mapping

1.总倾斜偏差mapping

 

2.表面倾斜偏差mapping

 

3.垂直方向倾斜偏差mapping

 

4.水平倾斜偏差mapping

 

 

5.摇摆曲线mapping

 

 

 


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