X射线衍射仪-单晶硅定向仪

弗莱贝格Omega/Theta X射线衍射仪-单晶硅定向仪能提供自动的晶格定位和样品校准的在线解决方案，我们专注于超高速和准确的 Omega扫描方法，可在几秒钟内确定完整的晶体取向。可添加二维(X-Y)或三维扫描，全自动化的摇摆曲线测量，使得XRD单晶定向仪成为单晶制造商质量控制环节中一个重要组成部分。

►应用范围

作为快速、简单、可靠的X射线单晶定向仪，弗莱贝格Omega/Theta Omega/Theta X射线衍射仪-单晶硅定向仪被广泛应用于工业生产的质量控制、材料研发等领域，主要用于超高速晶体定向和摇摆曲线的测量。

►应用技术

• 可用于生产的立式XRD
• 转移技术：可高效率进行多个铸锭同时定向（堆叠）
• 同时测定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、蓝宝石、涡轮叶片等200多种晶体材料）几乎所有晶体方向取向。
• 快速测量晶体取向，测量时间仅需5秒，精度：0.003°
• 自动晶片分类和处理
• 摇摆曲线测量和3Dmapping绘图 、晶圆表面翘曲度偏差检测
• 整块晶圆和涡轮叶片晶体取向mapping 
• 设备操作简单、快捷、方便，适用于各研究机构和全自动化生产线

►应用实例

案例1：

蓝宝石取向 mapping、摇摆曲线测量：窄反射峰=表面质量好

案例2：

SiC 取向 mapping、摇摆曲线测量：宽反射峰=晶体表面局部干扰

案例3：

碳化硅晶圆检测案例——晶体取向mapping

1.总倾斜偏差mapping

2.表面倾斜偏差mapping

3.垂直方向倾斜偏差mapping

4.水平倾斜偏差mapping

5.摇摆曲线mapping