德国Freiberg Instruments（弗莱贝格仪器）公司的Omega/Theta XRD（X射线单晶定向仪-Omega扫描）主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发，该仪器采用*的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向，具有成熟的单晶X射线衍射仪（XRD）技术，且可集成至全自动生产线中，是一台可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。

►产品介绍

德国Freiberg Instruments（弗莱贝格仪器）公司的Omega/Theta XRD（X射线单晶定向仪-Omega扫描）主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发，该仪器采用*的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向，具有成熟的单晶X射线衍射仪（XRD）技术，且可集成至全自动生产线中，是一台可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。

►技术特点

 --全自动的垂直三轴衍射仪，使用Omega扫描和Theta扫描方法以及摇摆曲线测定各种晶体的方向。配备可容纳长达450毫米和30公斤的样品及样品架；

 --自动化测量，并通过定制软件进行访问。利用Omega扫描，可在晶体旋转(5秒)中确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只产生一个方向分量；

 --准确地确定倾斜角度，Theta扫描精度达到0.001°；

 --模块化系统，并配备了多功能需求扩展。

►行业应用

具有多种几何形状和大小的样品 

根据材料和产量的不同，晶体样品可以表现出多种尺寸和几何形状。Omega/Theta X射线衍射仪（X射线单晶定向仪-Omega扫描）可以处理大块钢锭或钢球和实验合成的微小晶体。

非线性光学材料(NLO)：晶体质量和定向 

与典型的无机金属、半导体和绝缘体相比，NLO材料具有更复杂的晶体结构和更低的对称性。这些晶体通常被切割成尺寸在毫米范围内的小棒，而对这种小晶体的表面质量测定常常可以揭示晶体内部的结构缺陷和裂纹。通过对Omega/Theta的设计进行的一些特殊的修改，我们的定向仪能够确定许多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的的晶向。

平面方向的标记和测量 

Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。

摇摆曲线:晶体表面评价 

摇摆曲线测量对晶格内的缺陷和应变场很敏感。将这种技术与映射阶段相结合，可以扫描晶体表面并确定缺陷区域。通过装备一个具有映射阶段和双晶体的Omega/Theta衍射仪，可以直接测量晶体表面某一反射的摇摆曲线映射。

如下图显示的结果，这种映射的碳化硅晶圆片的内部呈现出两到三倍于摇摆曲线的FWHM。这可能与表面划痕或生长缺陷有关。