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X射线单晶定向仪-XRD晶体衍射仪

  • 更新时间:  2020-07-31
  • 产品型号:  Freiberg-Omega/Theta XRD
  • 简单描述
  • 德国Freiberg Instruments (弗莱贝格仪器)的Omega/Theta XRD(X射线单晶定向仪-XRD晶体衍射仪)主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发,该仪器采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向,具有成熟的单晶X射线衍射仪(XRD)技术,且可集成至全自动生产线中,是一台可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。
详细介绍

►产品介绍

德国Freiberg Instruments 的弗莱贝格Omega/Theta XRD(X射线单晶定向仪-XRD晶体衍射仪主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发,该仪器采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向,具有成熟的单晶X射线衍射仪(XRD)技术,且可集成至全自动生产线中,是一台可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。

 

 

►工作原理

  • Omega/Theta XRD可测材料类型有Si、Ge、SiC、Al2O3(蓝宝石)、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体;
  • 可对整块晶体取向mapping(弗莱贝格独有)进行测量;
  • 可测直径最大可达590mm(可根据需求定制更大检测尺寸);
  • 检测精度高达0.003° ,检测速度快——5s/试样;
  • 可测摇摆曲线检测晶体质量;
  • 制样简便,且可集成至全自动化生产线中,快速晶体质量检测分拣(日处理量高达5000片)。

 

用户群体

德国Freiberg Instruments(弗莱贝格仪器)公司Omega/Theta X射线衍射仪系列 (包括Omega/Theta XRDX射线单晶定向仪-XRD晶体衍射仪)在国内已有200多家客户,如蓝思科技、四联集团、协鑫集团、广东惠伦晶体、中电五十四所时频事业部等。

而该仪器在欧美国家等国家晶体生产研发巨头企业中同样应用广泛,如美国IPG Photonics公司、美国II-VI Advanced Materials公司、美国Crystal IS 公司、德国Si Crystal公司、波兰热舒夫理工大学。德国博世(Bosch)公司借助于此设备的Omega扫描技术,其石英振荡器晶体产量从55%直接提升至95%。

 

应用实例

单晶涡轮叶片检测图:

α方向:

   

β方向:

 

γ方向

 


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