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Omega/Theta XRD - X射线晶体定向仪

  • 更新时间:  2024-03-04
  • 产品型号:  Freiberg-Omega/Theta XRD
  • 简单描述
  • Omega/Theta XRD - X射线晶体定向仪用于超快速的晶体定向、生产中的晶体排列、质量控制、摇摆曲线测量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
详细介绍

        

Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪     

主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟·布拉达切克和他的儿子汉斯·布拉达切克创立。        

◆  1969 - 研制了世界上基于集成电路的x射线检测计数装置,名为 COUNTIX 130。

◆  1989 - 开发 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 -    振荡器产量从 50% 提高到 95%

◆  2005 - 将 Omega 转移到其他材料,如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金  

◆  2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM ) 

全球售出 约 150台石英分选系统

◆  2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH     

传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师        

        

 Omega/Theta XRD - X射线晶体定向仪产品优势:       

◆  采用Omega-scan扫描方法       

◆  测试速度快: 5s        

◆  测角精度高: 0.003        

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能        

◆  磨抛定向解决方案        

◆  拥有晶锭粘接转移的技术(堆垛 stacking)专为SiC工业设计,被多家SiC衬底头部企业青睐,如:II-VI Advanced Materials, SiCrystal等,国外四分之三的碳化硅制造商依赖Freiberg Instruments公司的晶体取向测量技术,极大提高了生产效率,提升产品质量。 

◆  Mapping 面扫功能,摇摆曲线测定         

◆  易于集成到工艺线中        

◆  MES和/或SECS/GEM接口        

◆  倾斜的典型标准偏差(例如:Si 100):< 0.003 °,小于< 0.001 °        

Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪,用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法对各种晶体进行取向测定和摇摆曲线测量。大而宽敞的设计可以容纳长度达450毫米、重量达30公斤的样品和样品架。        

所有的测量都是自动化的,可以从用户友好的软件界面上的访问。使用Omega扫描,可以在晶体旋转时(5秒)确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活,但每次扫描只能得到一个取向成分。        

倾斜角可以以非常高的精度确定;使用Theta扫描可以达到0.001°。对于所有其他晶体方向,精度取决于与表面垂直的角差。        

该系统是模块化的,已经配备了许多不同的扩展,用于特殊的目的,如形状或平面的确定、绘图和不同的样品架。样品的倾斜是通过光学测量检测出来的,并可用于校正所产生的方向。        

 

Omega/Theta XRD - X射线晶体定向仪        

◆  全自动完整的单晶体晶格取向测量        

◆  使用欧米茄扫描法进行超快速的晶体取向测量        

◆  自动摇动曲线测量功能        

◆  衍射仪的角度分辨率:0.1角秒。        

◆  样品尺寸可达450毫米        

◆  适用于生产质量控制和研究        

        

 用户友好,成本效益高:        

◆  方便的样品处理,易于操作        

◆  先进的、用户友好的软件        

◆  能源消耗和运行成本低        

◆  模块化设计,灵活性强        

◆  各种升级选项        

◆  根据用户的要求进行定制        

 

选配功能:        

◆  自动Mapping面扫功能        

◆  Omega/Theta – 晶锭粘接转移的技术(堆垛 stacking)        

◆  Omega/Theta - 摇摆曲线测量        

◆  Omega/Theta - 定制的样品台        

◆  用于样品形状测量的激光扫描仪        

◆  光学检测,用于平面和凹槽检测        

◆  额外的样品旋转轴用于3D绘图        

◆  二级通道切割准直器(分析器)        

◆  用于样品调整的设备


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