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MDP晶锭在线面扫检测仪--进口少子寿命测试

  • 更新时间:  2020-07-31
  • 产品型号:  Freiberg--MDPinline ingot
  • 简单描述
  • 德国弗莱贝格仪器的MDPinline ingot(MDP晶锭在线面扫检测仪--进口少子寿命测试)系统是快速多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命,光电导率,电阻率)都可以同时进行测量。
详细介绍

►产品介绍

德国弗莱贝格仪器的MDPinline ingot(MDP晶锭在线面扫检测仪--进口少子寿命测试)系统是快速多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命,光电导率,电阻率)都可以同时进行测量。

MDPinline ingot(MDP晶锭在线面扫检测仪--进口少子寿命测试)系统包括一个数据库和相关的统计数据评估,可自动确定准确的切割位置,以提高成品率。主要用于材料质量监控,炉选择和工艺改进。

 

 

 

►性能

 --无接触、无破坏的半导体特性

 --少数载流子寿命的检测能力

 --先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化

 --自动切割标准定义

 --获取体材料性质的稳态测量

 --完全自动化的内联集成

 --对太阳能级硅錠进行扫描,1mm分辨率

 --测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描,可自动测量所有4个面

 

Automated determination of cut off criteria

 

►优势

 --保持着先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。

 --在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试,同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的

 --线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库,该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。

 --对炉料进行质量控制和炉况监测,并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。

 

►技术参数


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