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晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD

  • 更新时间:  2023-06-18
  • 产品型号:  Wafer XRD-200
  • 简单描述
  • 晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD用于全自动分拣、晶体取向、optical notch and flat determination测定等。Si | SiC | AlN | 蓝宝石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
详细介绍

晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD的特点

◇  自动化的晶圆处理和分类系统(例如:盒到盒)。

◇  晶体取向和电阻率测量 

◇  晶片的几何特征(缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度)的光学测定 

◇  未抛光的晶圆和镜面的距离测量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口

晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD的Omega-scan方法:

◇  高的精度 

◇  测量速度: < 5秒/样品 

◇  易于集成到工艺线中 

◇  典型的标准偏差倾斜度(例如:Si 100):   < 0.003 °,小于< 0.001 °。

 


全自动化的晶圆分拣和处理系统


Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪
主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟·布拉达切克和他的儿子汉斯·布拉达切克创立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成电路的x射线检测计数装置,名为 COUNTIX 130。

◆  1989 - 开发 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 -    振荡器产量从 50% 提高到 95%

◆  2005 - 将 Omega 转移到其他材料,如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金

◆  2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM ) 

全球售出 约 150台石英分选系统

◆  2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        


传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师        

    



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