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GCIB-10S 离子源系统

  • 更新时间:  2024-05-09
  • 产品型号:  GCIB 10S
  • 简单描述
  • GCIB-10S 离子源系统是一种高性能10千伏气体团簇离子束,用于快速、低损伤溅射和更高质量的表面分析。GCIB 10S提供了大量有用的功能,包括实时集群大小测量和内置样本电流成像系统,以帮助您充分利用实验。
详细介绍

简介

GCIB-10S 离子源系统是一种高性能10千伏气体团簇离子束,用于快速、低损伤溅射和更高质量的表面分析。

GCIB 10S提供了大量有用的功能,包括实时集群大小测量和内置样本电流成像系统,以帮助您充分利用实验。 

GCIB-10S 离子源系统具有完整的泵送系统和单独软件,是一种栓接式升级,将集束束溅射的力量引入现有的真空仪器,如XPS、SEM和SIMS。

       

 

主要参数



主要应用                溅射            
光斑尺寸                250 µm                
扫描范围                7.5 x 7.5 mm                
能耗范围                1 – 10 kV                
电流范围                60 nA                
法兰至机头长度                143 mm               
推荐工作距离                50 mm                
电源装置                3U x 19’’ rack mountable unit    
电源要求                110-240VAC 13A 50/60Hz                
软件要求                        PC running Windows 10 or later                   
集成法兰规格                NW 63 CF                














特点:  

◇  10kV氩团簇离子源,可选择Ar1至>Ar3000的团簇;

◇  实时集群测量和调整;

◇  采样电流成像

◇  光斑尺寸大,扫描范围宽,可均匀去除材料;

◇  易于安装在许多高真空仪器上;

◇  单独软件和基于web套接字的API,用于与第三方软件集成




应用技术: 

GCIB 10S可去除不定碳和其他表面污染,而不会损坏基材, 同时还可对有机物和聚合物等软材料进行无损伤深度剖析。

右图显示了分别使用Ar1和Ar2000蚀刻原始PET表面前后的C 1s 峰值。数据清楚地显示了单原子Ar1束(红色)造成的化学损伤,而光谱在暴露于Ar2000束(蓝色)后几乎保持不变

         

               




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