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C60-40 离子源系统

  • 更新时间:  2024-05-09
  • 产品型号:  C60 40
  • 简单描述
  • C60-40 离子源系统 是目前性能较高的C60光束,具有300纳米的光斑尺寸和高达1毫安的束流。从生物医学应用到聚合物科学和冶金,C60-40都可以做到这一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射,但由于更高的束能量,C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻率,是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。
详细介绍

简介

C60-40 离子源系统 是目前性能较高的C60光束,具有300纳米的光斑尺寸和高达1毫安的束流。

从生物医学应用到聚合物科学和冶金,C60-40都可以做到这  一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射,但由于更高 的束能量,C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻率,是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。 

C60-40 离子源系统 是一款出色的全能型产品,Ionoptika销售的每台J105SIMS仪器中都包含C60-40。

       

 

主要参数


主要应用                分析            
光斑尺寸                300 µm                
扫描范围                1 x 1 mm                
能耗范围                10 – 40 kV                
电流范围                1 nA                
法兰至机头长度                168 ± 5 mm               
推荐工作距离                22 ± 2 mm                
电源装置                6U x 19’’ rack mountable unit    
电源要求                110-240VAC 13A 50/60Hz                
软件要求                        PC running Windows 10 or later                   
集成法兰规格                NW 63 CF                














特点:  

◇  用于 SIMS 分析的出色的全部方位离子束;

◇  小光斑尺寸可达 300 nm;

◇  电流高达 1 nA

◇  Wien滤波器,用于在直流和脉冲操作过程中进行质量滤波;

◇  提供快速脉冲、脉冲串、光栅和二次电子检测功能;

◇  闸阀,便于快速维修



应用技术: 

下图显示了C60-40在正离子模式下获得的半导体堆栈的3D SIMS图像。样品由InSb、Al和GaAs层组成,覆盖在保护性光刻胶层中。

这种软有机、无机和硬金属层的结合对于大多数其他离子束来说是极其困难的。C60-40是这一棘手应用的理想选择,因 为它在不同材料上具有一致的溅射速率。C60-40与300  nm的光斑尺寸相结合,是一种强大的光束,无论您使用何种类型的样品,都能在2D和3D中提供较高分辨率。


         

               



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