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飞行时间二次离子质谱仪

  • 更新时间:  2024-06-05
  • 产品型号:  PHI nano TOF3+
  • 简单描述
  • 飞行时间二次离子质谱仪PHI nano TOF3+,先进的多功能TOF-SIMS具有更强大的微区分析能力,更加出色的分析精度
详细介绍

飞行时间二次离子质谱仪 PHI nanoTOF3+ 

特征

先进的多功能TOF-SIMS具有更强大的微区分析能力,更加出色的分析精度 

飞行时间二次离子质谱仪

新一代 TRIFT 质量分析器,更好的质量分辨率 

适用于绝缘材料的无人值守自动化多样品分析 

离子束技术 

平行成像 MS/MS 功能,助力有机大分子结构分析 

多功能选配附件

飞行时间二次离子质谱仪

TRIFT分析器适用于各种形状的样品 宽带通能量+宽立体接收角度

宽带通能量、宽立体接受角-适用于各种形貌样品分析

主离子束激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞 出,特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品,即使相同 的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异,因此导致 质量分辨率变差,并对谱峰形状和背景产生影响。 TRIFT质量分析器可以同时对二次离子发射角度和能量进行 校正, 保证相同二次离子的飞行时间一致, 所以TRIFT兼顾 了高质量分辨率和高检测灵敏度优势,而且对于不平整样品 的成像可以减少阴影效应。

飞行时间二次离子质谱仪

实现高精度分析的一次离子设备

先进的离子束技术实现更高质量分辨

PHI nanoTOF3+ 能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分析:在高质量分辨模式下,其空间分辨率优于500nm ;在高空间分辨模式下,其空间分辨模式优于50 nm。通过结合强度高离子源、高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器,可以实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量;在这两种模式下,只需几分钟的测试时间,均可完成采谱分析。

飞行时间二次离子质谱仪

飞行时间二次离子质谱仪

前所未见的无人值守TOF-SIMS自动化多样品分析 -适用于绝缘材料

PHI nanoTOF3+搭载全新开发的自动化多样品分析功能,程序可根据 样品导电性自动调整分析时所需的高度与样品台偏压, 可以对包括 绝缘材料在内的各类样品进行无人值守自动化TOF-SIMS分析。 整个分析过程非常简单, 只需三步即可对多个样品进行表面或深度 分析 :①在进样室拍摄样品台照片 ;②在进样室拍摄的照片上分析点 ;③按下分析键,设备自动开始分析。 过去,必须有熟练的操作人员专门操作仪器才能进行TOF-SIMS分析 ; 现在,无论操作人员是否熟练,都可以获得高质量的分析数据

飞行时间二次离子质谱仪

标配自动化传样系统

PHI nanoTOF3+配置了在XPS上表现优异的全自动样品传送系 统 :样品尺寸可达100mmx100 mm, 而且分析室标配内置 样品托停放装置 ;结合分析序列编辑器(Queue Editor),可以实现对大量样品的全自动连续测试。

飞行时间二次离子质谱仪

采用新开发的脉冲氲离子设备获得证书的自动荷电双束中和技术

TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品,而绝缘样品表面 通常有荷电效应。PHI nanoTOF3+ 采用自动荷电双束中和 技术,通过同时发射低能量电子束和低能量氲离子束,可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和,无需额外的人为操作。 

*需要选配Ar离子设备

飞行时间二次离子质谱仪

远程访问实现远程控制仪器

PHI nanoTOF3+允许通过局域网或互联网访问仪器。 只需将样品台放入进样室, 就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进行远程控制。我们的专业人员可以对仪器进行远程诊断。

*如需远程诊断,请联系我们的客户服务人员。

飞行时间二次离子质谱仪

从截面加工到截面分析: 只需一个离子源即可完成

标配离子设备FIB(Focused lon Beam)功能

在PHI nanoTOF3+中, 液态金属离子具设备备 FIB功能, 可以使用单个离子设备对样品进行 横截面加工和横截面TOF-SIMS分析。通过操 作计算机, 可以快速轻松地完成从FIB处理 到TOF-SIMS分析的全过程。此外,可在冷却 条件下进行FIB加工。 

在选配Ga源进行FIB加工时,可以获得FIB加 工区域的3D影像 ;Ga源还可以作为第二分析 源进行TOF-SIMS分析。

飞行时间二次离子质谱仪

飞行时间二次离子质谱仪

通过平行成像MS/MS进行 分子结构分析[选配]

MS/MS平行成像 同时采集MS1/MS2数据

在TOF-SIMS测试中,MS1质量分析分析器接收从样品表面 产生的所有二次离子碎片,对于质量数接近的大分子离子, MS1谱图难以区分。通过安装串联质谱MS2,对于特定离子 进行碰撞诱导解离生产特征离子碎片,MS2谱图可以实现 对分子结构的进一步鉴定。

PHI nanoTOF3+具备串联质谱MS/MS平行成像功能, 可以同时获取分析区域的MS1和MS2数据,为有机大分子结构解析提供了强有力的工具。


飞行时间二次离子质谱仪

多样化配置充分发挥TOF-SIMS潜力

飞行时间二次离子质谱仪

可拆卸手套箱:可安装在样品导入室

可以选配直接连接到样品进样室的可拆卸手套箱。 锂离子电池和有机 OLED等容易与大气发生反应的样品可以直接安装在样品台上。此外,在 冷却分析后更换样品时,可以防止样品表面结霜。

飞行时间二次离子质谱仪

氩团簇离子源(Ar-GCIB):有机材料深度剖析

使用氩团簇离子源(Ar-GCIB)能够有效减少溅射过程中对有机材料的破坏,从而在刻蚀过程中保留有机大分子结构信息。

Cs源和Ar/O2源:无机材料深度剖析

可根据测试需求选择不同的离子源提高二次离子产额,使用Cs源可增强负离子产额 ;O2源可增强正 离子产额


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