微焦点CT-半导体元器件X射线显微成像系统是一种基于X射线的成像技术，使用微型计算机断层扫描技术（Micro Computed Tomography）。包括扫描和重构两个主要部分，Micro/Nano 表明其分辨率可达到微米/亚微米级别。