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MDP少子寿命测试仪 | 铁浓度测定

浏览次数:532发布日期:2023-06-11

有了MDPingot和MDPmap系列,就可以全自动地测量砖块和硅片中的铁浓度,而且分辨率非常高。铁硼对解离前后的寿命测量是一种**使用的测定硅片中铁的方法。在高掺杂浓度的掺硼硅中,因为它被用于光伏应用,几乎100%的电活性铁以FeB对的形式存在。在有足够能量的光照下,这些铁对可以在Fe和B中解离。这个过程是可逆的,在一段时间后,所有的FeB对都会再次结合。FeB和Fei有不同的重组特性,因此解离对测量的寿命有影响。在这种影响下,铁的浓度可以通过以下方式确定

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对于铁的测定,使用了一个校准系数C,它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度,这在多晶硅中必须加以考虑。通过MDP,可以对多晶硅和单晶硅进行高分辨率的铁浓度测定,并且由于模拟和多年的研究,还具有很高的精度。


照明前的寿命图和产生的铁图

关于铁的测定和校准系数的依赖性的更多信息,请阅读:

[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).

[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published


陷阱浓度测定的工具

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