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  • 202411-20
    全新台式D6 PHASER应用报告系列(七)— 掠入射衍射- X射线衍射XRD

    掠入射衍射介绍掠入射衍射(GID,Grazingincidencediffraction)是研究多晶薄膜的一种常用方法。薄膜样品在Bragg-Brentano对称衍射中通常表现出非常微弱的衍射信号,原因在于X射线可穿透薄膜照射到底层衬底,由于衬底其较大的散射体积,导致其衍射信号在终端信号中占据主导地位。然而,如果不是BB几何的发散光路,而是一束细的平行光束照向样品表面,这样它只穿透薄膜而不穿透下方的衬底材料,那么来自薄膜的衍射信号则会成为主导。通过优化平行光束的入射角度,可以...

  • 202411-20
    如何确保晶圆片在线面扫检测仪的数据准确性?

    在现代半导体制造业中,对晶圆片表面质量的精确检测是至关重要的。晶圆片在线面扫检测仪作为一种先进的检测设备,因其能够实时监控晶圆片表面的微小缺陷,被广泛应用于半导体生产线上。晶圆片在线面扫检测仪的设计充分考虑了高效检测的需求。它通常由一个高速扫描系统和一个高分辨率成像系统组成,能够在晶圆片传输过程中实时捕捉表面图像,并通过图像处理算法自动识别和分类各种缺陷。这种设计不仅能够提高生产效率,还能够显著降低因缺陷导致的产品报废率。晶圆片在线面扫检测仪还具备多种高级功能,以满足不同的应...

  • 202411-20
    应用分享 | AES俄歇电子能谱专辑之应用案例(二)

    上篇介绍了俄歇电子能谱(AES)的定性分析、定量分析及化学态分析功能,本篇我们将继续分享更多AES高级功能,其中包括表面形貌观察、深度分析及显微分析。表面形貌观察AES作为一种先进的电子束探针表征技术,在纳米级乃至更高精度的空间分辨要求上展现出了强大的优势,因此非常适用于纳米尺度材料的表征。与扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等依赖电子束探针的技术相似,AES在电子束聚焦能力上表现出色,尤其是场发射电子束技术的融入,极大地提升了其空间分辨能力。当前PHI710...

  • 202411-20
    顺磁共振谱仪的工作原理和优势

    顺磁共振谱仪(EPR)是一种基于电子自旋共振现象,用于研究含有未成对电子的顺磁物质的仪器。其工作原理和优势如下:工作原理1.建立磁场:首先在仪器中建立一个强磁场,通常使用超导磁体来产生很高的磁场。2.激发电磁辐射:使用微波源产生特定频率的微波辐射,这个频率通常是与顺磁物质的共振频率相匹配的。微波辐射被引导到样品中,并与样品中的未成对电子进行相互作用。3.收集信号:通过所谓的共振回路(resonator)收集样品中电子的共振信号。共振回路是通过感应线圈和谐振电路组成的。4.分析...

  • 202411-15
    半导体制造:晶圆片在线面扫检测仪的作用与价值

    在半导体制造领域,质量控制是确保芯片性能和可靠性的关键环节。随着技术的发展,晶圆片在线面扫检测仪成为了这一过程中不可或缺的工具。晶圆片在线面扫检测仪是一种高精度的检测系统,专门用于监测晶圆片表面的微小缺陷。这些缺陷可能包括颗粒污染、划痕或图案不完整等,它们都可能影响最终产品的性能。通过实时监测,该设备能够及时发现问题并反馈给生产线,从而避免不良品的产生。该检测仪基于光学扫描技术。一束激光或强光被引导至晶圆片表面,并通过高分辨率的摄像头捕捉反射回来的光线。如果晶圆片表面存在任何...

  • 202411-13
    应用分享 | 氩离子设备 (XPS、PHI710、TOF-SIMS)

    氩离子设备对于表面分析,样品表面极易被污染。为了清洁被污染的固体表面,在能谱分析中,常常利用离子设备发出的离子束对样品表面进行溅射剥离,以清洁表面。利用离子设备发出的离子束定量地剥离一定厚度的表面层,然后再分析表面成分,这样就可以获得元素成分沿深度方向的分布图。同时,离子设备也兼具中和样品表面荷电的作用。一、氩离子设备原理图▲图1氩离子设备原理图二、氩离子设备实图▲图2氩离子设备图三、氩离子设备主要作用清洁(样品表面被污染)清洁被污染的样品表面,利用离子设备发出的离子束对样品...

  • 202411-5
    揭秘物质内部结构,X射线三维显微镜的跨领域影响力

    在现代科学研究和工业检测领域,高精度成像技术的重要性日益凸显。X射线三维显微镜作为一种先进的无损检测工具,以其独特的穿透能力和高分辨率成像特性,成为了材料科学、生物医学以及工业质量控制等多个领域的研究热点。X射线三维显微镜基于X射线与物质相互作用时的吸收差异。当X射线穿过物体时,不同密度和组成的材料会对X射线产生不同程度的衰减,这种衰减信息被探测器捕捉并转化为电信号,最终通过计算机处理生成三维图像。与传统的二维X射线成像相比,三维显微镜能够提供更为丰富的空间结构信息,使得研究...

  • 202410-30
    XRM应用分享 | 高分辨显微CT检测技术在生命科学领域的前沿应用

    随着科学技术的飞速发展,高分辨显微CT(ComputedTomography)检测技术作为一种非破坏性的三维成像技术,在生命科学领域展现出了巨大的应用潜力和价值。其不仅能够实现生物样本的精确成像,还能提供丰富的生物学信息,为生命科学研究提供了强有力的技术支持。本文旨在探讨高分辨显微CT检测技术在生命科学领域的前沿应用,并分析其在推动科学进步方面的作用。一、概述高分辨显微CT检测技术是一种基于X射线的高精度三维成像技术,它结合了CT扫描与显微镜技术的优点,能够在不破坏样本的前提...

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