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MDPlinescan

  • 更新时间:  2020-03-27
  • 产品型号:  
  • 简单描述
  • 灵活的OEM设备,用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶硅到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。
详细介绍

应用范围:灵活的OEM设备,用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶硅到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。

在线面扫和单点检测

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

 

 

还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源。                                                              
  

特性

允许单片调查
配方的基础测量
监控材料质量、工艺的完整性和稳定性

优势
在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆在不同的准备阶段,直到设备,砖或锭。
小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。重点是长时间的可靠性和测量结果的精度。

 

技术参数

样品

多晶或单晶晶圆原料, 晶锭,晶胞

样品尺寸

大约50 x 50 mm2

电阻率

0.2 - 103 Ohm cm

conduction type

p, n

材质

硅晶圆,部分或完全加工的晶圆,复合半导体等

测量属性

载流子寿命

硬件接口

ethernet

大小

174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

电源

24 V DC, 2 A

 


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