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少子寿命测试仪(MDP)
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MD picts温度依赖型寿命测试系统,可检测电阻率高于 0.3 Ω cm的单晶硅与多晶硅,重要聚焦缺陷、少子寿命及光电导的温度依赖型测量,同时可检测硅中的污染物及电活性晶体中的缺陷,具备微波光电导衰减瞬态(μPCD)和稳态(MDP)测量功能。
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