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MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪

  • 更新时间:  2020-07-31
  • 产品型号:  弗莱贝格--MDPlinescan
  • 简单描述
  • 德国弗莱贝格MDPinlinescan(MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪)是一款灵活的OEM设备,可以用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。配置标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。
详细介绍

►公司简介

Freiberg Instruments成立于2005年,源自德国弗莱贝格工业大学。
最初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具,用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。
2012年整合了Magnettech公司,该公司拥有25年ESR顺磁产品经验;2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。
Freiberg Instruments是一家发展迅速,充满活力,专业又具有创新的的分析仪器公司,产品广泛应用于剂量学、
医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等领域。 

 

►产品介绍

德国弗莱贝格MDPinlinescan(MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪)是一款灵活的OEM设备,可以用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。

MDPinlinescan(MDP在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪)配置标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。

 

 --各种不同的样品,从单晶硅到多晶硅,从生长的晶片到加工过的晶片,都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。

 --MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。

 --样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。

 --该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源即可。例如,电池生产线上的来料质量检查是其常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

                                   

                                                               

►特性

 --允许单片调查

 --配方的基础测量

 --监控材料质量、工艺的完整性和稳定性

               

►优势

 --在µ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。

 --用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备,和各种工艺处理阶段。

 --小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。

 

技术参数


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