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MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命

  • 更新时间:  2020-07-30
  • 产品型号:  德国Freiberg--MDPpro
  • 简单描述
  • 弗莱贝格的MDPpro(MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命)系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等,其非接触式检测和无损成像(μPCD /MDP(QSS))的设计完全符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说,MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商d的标准仪器。
详细介绍

►公司简介

 --Freiberg Instruments成立于2005年,源自德国弗莱贝格工业大学。初致力于开发一系列快速、无损的电气特性测试工具,用于测量少数载流子寿命、光电导率和电阻率等参数。
 --2012年整合了Magnettech公司,该公司拥有25年ESR顺磁产品经验;2015年又整合了EFG的X射线衍射产品。
 --Freiberg Instruments是一家发展迅速,充满活力,专业又具有创新的的分析仪器公司,产品广泛应用于剂量学、医学研究、材料研究、电子自旋共振、微电子学、光伏、发光年代测定和x射线衍射等领域。 

►产品介绍

 --弗莱贝格的MDPpro(MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命)系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等,其非接触式检测和无损成像(μPCD /MDP(QSS))的设计完全符合SEMI标准PV9-1110。

 --这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化以及常规质量控制、精密材料研发的单晶和多晶片及晶锭的寿命测量等领域被广泛应用。可以说,MDPpro(MDPpro晶圆片/晶锭寿命检测仪--少子寿命)算得上是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商d的标准仪器。

 

►特性&优势:

 --无接触和无破坏的半导体检测;

 --特殊“underneath the surface”寿命测量技术;

 --对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度;

 --自动设置硅錠切割标准;

 --空间分辨p/n电导型变换检测;

 --多项数据同时自动检测扫描,5幅测量图形同时绘制;

 --坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装,仅需要电源。

 

►应用实例

-1.日常寿命测量,质量控制和检验

 --产量:>240块/天或>720片/天
 --测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟
 --良品率提升:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
 --质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶硅或多晶硅
 --沾污检测:起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
 --可靠性:模块化和坚固耐用的工业仪器,更高可靠性,运行时间> 99%
 --可重复性:> 99.5%
 --电阻率:可做面扫描,不需经常校准

 

-2. 精密材料研发

 --a.铁浓度测定
 --b.陷阱浓度测定
 --c.硼氧测定
 --d.依赖于注入的测量等


 


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