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晶圆片晶锭寿命检测仪

  • 更新时间:  2020-09-02
  • 产品型号:  MDPpro
  • 简单描述
  • 晶圆片晶锭寿命检测仪用于常规质量控制、精密材料研发的单晶和多晶片及晶锭的寿命测量
详细介绍

Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

应用范围:用于常规质量控制、精密材料研发的单晶和多晶片及晶锭的寿命测量

 

 

根据SEMI标准PV9-1110的非接触式和无损成像(μPCD / MDP(QSS))、光电导性、电阻率和p/n检查。

晶圆切割,炉内监控,材料优化等。


日常寿命测量,质量控制和检验
 
◆产量:>240块/天或>720片/天
◆测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟
◆生产改善:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
◆质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶硅或多晶硅
◆污染测定:起源于炉和设备的金属(Fe)
◆可靠性:模块化和坚固耐用的工业仪器,更高的可靠性和运行时间> 99%
◆可重复性:> 99.5%
◆电阻率:不需要经常校准

精密材料研发

铁浓度测定


陷阱浓度测定

硼氧测定

依赖于注入的测量等

特性


完全无触点无破坏的半导体特性
特殊的“表面之下”寿命测量技术
不可见缺陷的 灵敏度的可视化
自动切割标准定义
空间分辨p/n电导型变换检测

 


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